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  • TFS 200
  • 產品廠牌: Beneq
    產品簡述: 晶圆、玻璃、金属或或塑料板、3D物件 以及多孔性材料的原子层沉积系统

    原厂国家: 芬兰
    制程应用:
      硅晶太阳能-表面钝化
    相关连结:   http://www.beneq.com/
    关键字    :   高介电系数, Batch ALD, 批次式系统,ALD,原子层沉积

製程說明
1.弹性的研究平台并具备高度的模块化设计
2.可配备电容耦合式电浆系统: capacitively-coupled plasma(CCP)
3.制程所需的每个循环(cycle)时间可控制在两秒以下
4.提供多元的金属先驱物选择,腔体温度最高可至500C
5.可提供晶圆乘载系统