Products

  • 终点侦测器. OPTI-Sense 5000.
  • 產品廠牌: Teledyne
    產品簡述: 侦测清洁制程腔体的清洁制程终点

    原厂国家: 美国
    制程应用:
    - 压力范围: 0.2~1400 Torr
                      - 温度范围: 4~45℃
                      - 反应时间: < 2秒
                      - 数字输出:RS-232-c

    相关连结: http://teledyne.com/
    关键字  :
    臭氧

製程說明
- 可实时量测
- 无活动式零件
- 数字输出
- 快速的反应时间