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  • WCS500
  • 產品廠牌: Beneq
    產品簡述: 潮湿的软板、有机电子组件、CIGS薄膜太阳能电池的原子层沉积系统

    原厂国家:   芬兰
    制程應用:
       潮湿的软板、有机电子组件、CIGS薄膜太阳
                          能电池的缓冲层。
    相關連結:   http://www.beneq.com/
    关键字   :   高介电系数,Batch ALD,批次式系统:ALD,原子层沉积


製程說明
1. 提供真实的卷对卷原子气象沉积,软板宽度最大可达500mm
2. 制程温度最高可达150℃
3. 适合镀膜于高分子基板以及其他软板