Products

  • TFS NX300
  • 產品廠牌: Beneq
    產品簡述: 矽晶太陽能電池背面鈍化層的 原子層沉積系統

    原廠國家:  芬蘭
    製程應用:
      矽晶太陽能-表面鈍化
    相關連結:   http://www.beneq.com/
    關鍵字    :   高介電系數, Batch ALD, 批次式系統,ALD,原子層沉積

製程說明
1.模組化設計, 可依客戶想法選擇爐管數目
2.批式沉積系統
3.全自動化系統, 高產出
4 低溫製程
5 有效增加電池效率
相關產品