SemiconductorSENTECH

SENresearch 4.0

  • BRAND： Sentech
  • DESCRIPTION： 全光谱式椭圆仪适用于单层或多层之不同材料结构的薄膜量测. 量测各种光学薄膜的厚度、折射率以及消光系数等

  • 原厂国家： 德国
    制程应用：     适用于各种不同薄膜量测: 研发 / 光伏 / 微电子 / 有机电子 / 玻璃涂料 / 显示技术 / 生物科学 / 生命科学
    相关连结：  http://www.sentech.de/
    关键字  ：   椭圆仪、椭偏仪

SENresearch4.0是SENTECH最新的光谱椭偏仪产品。可依据各别客户需求制定光谱范围，亦可于日后现场升级配件。
  - 最宽的光谱范围和最高的光谱分辨率（光谱范围从190nm（深UV）为3500nm（NIR））
  - 搭配SSA组件（步进扫描分析仪）, 没有可移动之料件
  - 创新的2C设计:全穆勒矩阵
  - 搭配功能最完整的软件SpectraRay/4（包含:先进的材料分析 / 双重操作接口:材料研究用之图型分析模式与例行常规简易量测接口。）