Products

  • GCR4280_EDGE GRIP
  • 產品廠牌: JEL
    產品簡述: 大气用机械手臂
    原厂国家:   日本
    制程应用:
        半导体
    产品名称 :     4轴水平多关节型机械手臂
    使用环境 :    
    无尘室内的大气环境
    手臂        :    
    單臂
    到达距离 :    
    553mm (手臂第3关节中心基准)
    升降轴最大行程 :
    420mm
    可搬运重量 :
    手臂第3关节部分的承受重量 4kgf 以下
製程說明
1.  无尘室用多轴结构设计,4轴水平多关节机械手臂。
2.  具备450mm晶圆翻转功能,边握式Chuck。
3.  高强度手臂/手臂第3关节部分可承受4kgf 以下(包含Chuck,晶圆的重量)
4.  具备晶圆翻转机构的边握式Chuck,可订制同时搬运5片300mm晶圆的Chuck
5.  机械手臂驱动部分采用AC伺服马达
6.  采用S曲线加减速控制以及对运转轨迹的优化调整,实现高速,高精度地完成晶圆传输。
7.  根据设备的配置可以选择底座固定方式,或法兰(颈部)固定方式
8.  可选购伯努利方式Chuck(Option)
9.  电源:单相 AC200V±10% 10A    真空:-53kPa以上
10.控制通讯方式:串行RS232C或并列光学I/O