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  • SAL3481HV
  • 產品廠牌: JEL
    產品簡述: 晶圆校准器
    原厂国家:   日本
    制程应用:
        半导体
    产品名称 :     晶圆校准器
    使用环境 :    
    无尘室内的大气环境
    晶圆尺寸:      100-200mm
    被搬运物:      透明, 半透明, 矽晶圆
製程說明
1.  适用于100-200mm晶圆, 可适用于多种晶圆的新型Aligner
2.  可适用于硅片,透明,半透明晶圆等不同材质晶圆的位置校准
3.  使用自主研发的图像识别传感器,采用了控制器和马达驱动器集和到设备本体内部的一体化设计
4.  可以根据晶圆尺寸,材质更改Spindle的直径,形状和材质,Spindle可以更改为伯努利吸附方式
5.  不符合SEMI规格的缺口,缺边形状也可以提供订制设计
6.  能够为Spindle增加Z轴以满足对晶圆进行升降的需求
7.  可依据晶圆取放的动作针对Z轴进行选购
8.  电源:DC24V±10% 12A   真空:-53kPa以上
9.  控制通讯方式:串行RS232C或并列光学I/O