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  • SI ALD LL
  • 產品廠牌: Sentech
    產品簡述: 具有晶圓承載原子層沉積系統
    原廠國家:   德國
    製程應用:
      
    1.PEALD敏感基板
    2.製程中可線上偵測和優化
    3.清潔容易
    4.可整合手套箱系統
    5.可整合其他系統: PECVD/ICPECVD/Plasma etching

    相關連結:   http://www.sentech.de/
    關鍵字    :  原子層沉積

製程說明
SENTECH原子層沉積系統,使熱和等離子增強的操作,其可為氧化物,氮化物,和金屬沉積進行配置。
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