原廠國家: 德國 制程應用: LED線上即時GaAs, InP, GaN 磊晶溫度,長 晶速率量測監控。
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1. 在磊晶過程中進行LED磊晶片的及時監控: > 發散率(emission)及反射率(reflectance) > 磊晶速率計算(growth rate) > 磊晶片之實際溫度(wafer true temperature) 2. 獨家雙波長量測技術 (950nm+633nm/405nm)。 3. 光纖訊號傳送,準確快速。 4. 應用於GaN、GaAs、InP之監控。 5. 模組化設計,體積輕巧。 6. 方便快速的磊晶速率分析軟體。 7. 備有可套用於MOCVD and MBE之溝通軟體