原厂国家： 韩国 制程应用： 颗粒去除、晶圆干燥 相关连结： http://www.apet.co.kr
1. 马兰戈尼干燥专利 2. 针对薄片大翘曲度晶圆（70um） 3. 无水迹残留 4. 低的破片率（利用水面表面张力干燥步骤） 5. 对金属层无影响 6. 少量的消耗品(N2/IPA/Chemical过滤器) 7. 25或50片同时作业，高速的产出
