制程应用: 1. 适用于一般大气、真空或者潮湿、酸碱环境之平面传输机械手臂。 2. 可应用于Semi、LED wafer及FPD基板传送作业 3. 客制化满足客户需求 相关连结:http://www.jel-robot.co.jp
●应用于Semiconductor、LED、FPD、Touch Panel的生产设备。 ●可整合于EFEM、Sorter及检测系统。 ●操作精度±0.1mm,可符合平面传输作业高精度的要求。 ●可适用于无尘室,达到Class 2的洁净度。 ●真空环境可耐1.33 * 10-6Pa。