原廠國家:韓國 製程應用:薄膜去除、顆粒清潔、消除矽片應力、矽片再生 相關連結:http://www.apet.co.kr
1. 4"-12"單片式清洗/蝕刻設備(客製化)手動、半自動、全自動機型 2. 適用於多種化學製程 3. 專用分配噴嘴(最小流量控制:0.008cc)