原厂国家: 德国 制程应用: 1.可量测lifetime (mapping) 2.Resistivity 3.LBIC 4.Iron浓度 5.Conduction type: P/N 6.材料: silicon wafer, epi layer, partially or fully processed wafer, compound semiconductor. 相关连结: http://www.freiberginstruments.de/ 关键字 : 太阳能,量测
1. 单机矩阵式量测一片芯片量测时间约5分钟内完成 2. 根据少数载子寿命 数值建立芯片分类等级机制 3. 在稳态状态下量测 少数载子的寿命 (u-PCD 方式也可选择) 4.机台可自动调整至参数最佳量测模式