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  • 產品廠牌: Freiberg Instrument
    產品簡述: 量测硅晶圆、磊晶层、全制程 或半制程的半导体组件以及 化合物半导体的少数载子生命周期、 阻抗及薄膜厚度

    原厂国家: 德国
    制程应用:
     1.可量测lifetime (mapping)
                        2.Resistivity
                        3.LBIC
                        4.Iron浓度
                        5.Conduction type: P/N
                        6.材料: silicon wafer, epi layer, partially or
                           fully processed wafer, compound
                           semiconductor.
    相关连结:  http://www.freiberginstruments.de/
    关键字    :  太阳能,量测

製程說明
1. 单机矩阵式量测一片芯片量测时间约5分钟内完成
2. 根据少数载子寿命 数值建立芯片分类等级机制
3. 在稳态状态下量测 少数载子的寿命  (u-PCD 方式也可选择)
4.机台可自动调整至参数最佳量测模式