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  • EpiTT/EpiTwinTT/EpiTripleTT
  • 產品廠牌: LayTec
    產品簡述: 線上即時監控GaAs, InP, GaN 磊晶溫度及長晶速率

    原廠國家:   德國
    制程應用:  
    LED線上即時GaAs, InP, GaN 磊晶溫度,
                        晶速率量測監控。

    相關連結:   http://www.laytec.de/epitt/

製程說明
1.  在磊晶過程中進行LED磊晶片的及時監控:
> 發散率(emission)及反射率(reflectance)
> 磊晶速率計算(growth rate)
> 磊晶片之實際溫度(wafer true temperature)
2.  獨家雙波長量測技術 (950nm+633nm/405nm)。
3.  光纖訊號傳送,準確快速。
4.  應用於GaN、GaAs、InP之監控。
5.  模組化設計,體積輕巧。
6.  方便快速的磊晶速率分析軟體。
7.  備有可套用於MOCVD and MBE之溝通軟體
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