原厂国家： 美国 制程应用： 量测薄膜的厚度、折射率、吸收系数、线 宽、深度与表面形貌 相关连结： http://www.nandk.com/ 关键字 ： 关键尺寸量测 量测薄膜的厚度、折射率、吸收系数
1. 光谱仪量测波长范围为190~1000nm 2. 反射量侧与穿透量测的光点皆为50微米 3. 可自动化量测且量测6吋, 8吋的晶圆 4. 非破坏性且实时的同时量测n/k/OCD 5. 高产出以及可直接量测组件内部 6. 機台體積小節省空間
