Products

  • 5700-CDRT
  • 產品廠牌: n&k
    產品簡述: 椭圆量测薄膜的厚度、折射率、消光系数、线宽、深度以及表面形貌

    原厂国家: 美国
    制程应用:
      可量测5平方英吋或6平方英吋光罩的薄膜的
                        厚度、折射率、穿透率、线宽、深度与表面
                        形貌
    相关连结:   http://www.nandk.com/
    关键字  :   关键尺寸量测 量测薄膜的厚度、折射率、吸收系数


製程說明
1. 光谱仪量测波长范围为190~1000nm
2. 反射量侧光点为50微米,穿透量侧光点为400微米
3. 可自动化量测且量测 5平方英吋或6平方英吋的光罩
4. 非破坏性且实时的量测
5. 高产出以及可直接量测组件内部