原厂国家: 美国 制程应用: 可量测5平方英吋或6平方英吋光罩的薄膜的 厚度、折射率、穿透率、线宽、深度与表面 形貌 相关连结: http://www.nandk.com/ 关键字 : 关键尺寸量测 量测薄膜的厚度、折射率、吸收系数
1. 光谱仪量测波长范围为190~1000nm 2. 反射量侧光点为50微米,穿透量侧光点为400微米 3. 可自动化量测且量测 5平方英吋或6平方英吋的光罩 4. 非破坏性且实时的量测 5. 高产出以及可直接量测组件内部