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  • Gemini
  • 產品廠牌: n&k
    產品簡述: 全自動橢圓量測光罩的薄膜的厚度、折射率、穿透率、線寬、深度與表面形貌
    原廠國家:  美國
    製程應用:
      全自動化系統可應用於量測光罩及轉印技術
                        的薄膜的厚度、折射率、吸收係數、線寬、
                        深度與表面形貌
    相關連結:  
    http://www.nandk.com/
    關鍵字   :   關鍵尺寸量測 量測薄膜的厚度、折射率、吸收係數



製程說明
1. 光譜儀量測波長範圍為190~1000nm
2. 反射量側與穿透量測的光點皆為50微米
3. 非破壞性且即時的量測
4. 高產出以及可直接量測元件內部