原厂国家： 美国 制程应用： 全自动化系统可应用于量测光罩及转印技术 的薄膜的厚度、折射率、吸收系数、线宽、 深度与表面形貌 相关连结： http://www.nandk.com/ 关键字 ： 关键尺寸量测 量测薄膜的厚度、折射率、吸收系数
1. 光谱仪量测波长范围为190~1000nm 2. 反射量侧与穿透量测的光点皆为50微米 3. 非破坏性且实时的量测 4. 高产出以及可直接量测组件内部
