Products

  • Gemini
  • 產品廠牌: n&k
    產品簡述: 全自动椭圆量测光罩的薄膜的厚度、折射率、穿透率、线宽、深度与表面形貌
    原厂国家:  美国
    制程应用:
      全自动化系统可应用于量测光罩及转印技术
                        的薄膜的厚度、折射率、吸收系数、线宽、
                        深度与表面形貌
    相关连结: 
    http://www.nandk.com/
    关键字   :  关键尺寸量测 量测薄膜的厚度、折射率、吸收系数


製程說明
1. 光谱仪量测波长范围为190~1000nm
2. 反射量侧与穿透量测的光点皆为50微米
3. 非破坏性且实时的量测
4. 高产出以及可直接量测组件内部