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材料分析
PFK
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產品介紹
材料分析
PFK
晶圓式溫度計
產品廠牌:
PFK
產品簡述:
客製化晶圓式溫度計
原廠國家:
韓國
製程應用:
爐管、濺鍍、物理氣相沉積、預烤爐、化學氣相沉積
相關連結:
www.pfkco.com
製程說明
1. 具有不同材質的wafer(K,R,S type)
2. 可客製化
3. 自製軟體可對應KLA TC wafer