lattice orientation measurementPFK

晶圓式溫度計

  • BRAND： PFK
  • DESCRIPTION： 客製化晶圓式溫度計

  • 原廠國家：    韓國  
    製程應用：        爐管、濺鍍、物理氣相沉積、預烤爐、化學氣相沉積
    相關連結：    www.pfkco.com



1. 具有不同材質的wafer(K,R,S type)
2. 可客製化
3. 自製軟體可對應KLA TC wafer