半導體設備APET

單片式清洗蝕刻設備

  • 產品廠牌： APET
  • 產品簡述： 濕式蝕刻去除晶圓表面薄膜或顆粒

  • 原廠國家：韓國
    製程應用：薄膜去除、顆粒清潔、消除矽片應力、矽片再生
    相關連結：http://www.apet.co.kr

1. 4"-12"單片式清洗/蝕刻設備（客製化）手動、半自動、全自動機型
2. 適用於多種化學製程
3. 專用分配噴嘴（最小流量控制：0.008cc）