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  • SI 500 PPD
  • 產品廠牌: Sentech
    產品簡述: 感應式耦合電漿離子蝕刻系統
    原廠國家:   德國
    製程應用:
        可從室溫 level 350C 沉積 SiO2, SINx, SiOxNy, and a-Si
    相關連結:   http://www.sentech.de/
    關鍵字    :  電漿化學氣相沉積


製程說明
1.在製程溫度與薄膜沉積選擇上高度彈性的 電漿輔助化學氣相沉積系統
2.真空的晶圓承載腔體(loadlock)
3.可用液態或氣態的金屬先驅物沉積 TEOS, SiC, and 和其他材料
4.最大到 200mm 晶圓
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