Bernoulli Chuck 根據用途可以選擇①伯努利式Chuck ; ②旋風真空吸盤式Chuck。 ①伯努利式Chuck 1.為了回應眾多客戶的需..
SAL3481HV 1. 適用於100-200mm晶圓, 可適用於多種晶圓的新型Aligner 2. 可適用於矽片,透明,半透明晶圓等不同材質晶..
GCR4280_EDGE GRIP 1. 無塵室用多軸結構設計,4軸水平多關節機械手臂。 2. 具備450mm晶圓翻轉功能,邊握式Chuck。 3. 高強度..
GTCR5280_300mm 1. 可用於300mm半導體晶圓搬送的5軸水平多關節機械手臂GTCR5000系列。 2. 搭載Twin Chuck結構能夠實現和雙..
GCR4210_STEPPING 1. 無塵室用多軸結構設計,4軸水平多關節型機械手臂GCR4000-PM系列。 2. 適用於300mm半導體生產設備內部,..
STCR4160SN 1. 無塵室用4軸圓柱型機械手臂 2. 高C/P值和高速傳輸特性,適用於2吋-300mm晶圓傳輸的新型雙臂機械手臂 3..
SCR3160CSN 1. 無塵室用3軸圓柱型機械手臂 2. 保持高C/P值和高速傳輸特性,適用於2吋-300mm晶圓傳輸的新型單臂機械手..