Bernoulli Chuck 根据用途可以选择①伯努利式Chuck ; ②旋风真空吸盘式Chuck。 ①伯努利式Chuck 1.为了响应众多客户的需..
SAL3481HV 1. 适用于100-200mm晶圆, 可适用于多种晶圆的新型Aligner 2. 可适用于硅片,透明,半透明晶圆等不同材质晶..
GCR4280_EDGE GRIP 1. 无尘室用多轴结构设计,4轴水平多关节机械手臂。 2. 具备450mm晶圆翻转功能,边握式Chuck。 3. 高强度..
GTCR5280_300mm 1. 可用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节机械手臂GTCR5000系列。 2. 搭载Twin Chuck结构能够实现和双..
GCR4210_STEPPING 1. 无尘室用多轴结构设计,4轴水平多关节型机械手臂GCR4000-PM系列。 2. 适用于300mm半导体生产设备内部,..
STCR4160SN 1. 无尘室用4轴圆柱型机械手臂 2. 高C/P值和高速传输特性,适用于2吋-300mm晶圆传输的新型双臂机械手臂 3..
SCR3160CSN 1. 无尘室用3轴圆柱型机械手臂 2. 保持高C/P值和高速传输特性,适用于2吋-300mm晶圆传输的新型单臂机械手..
平面传输机械手臂/Robot ●应用于Semiconductor、LED、FPD、Touch Panel的生产设备。 ●可整合于EFEM、Sorter及检测系统。 ●操作..